Описание:

NRE-4000 NANO-MASTER представляет собой автономную систему реактивного ионного травления (RIE) с газораспределительной головкой душевого типа и водяным охлаждением РЧ пластинодержателя. Система имеет корпус из нержавеющей стали и 13-дюймовую цилиндрическую алюминиевую камеру с верхней загрузкой подложек. Максимальный размер обрабатываемых подложек составляет 8 дюймов (200 мм). Камера оснащена двумя портами, один с 2-дюймовым окном, другой с заглушкой для диагностического оборудования, такого как датчики обнаружения окончания процесса. Камера обладает сверхчистой конструкцией и позволяет достигать базового давления до 5x10-7 торр или ниже в зависимости используемой от насосной упаковки. Возможна работа в диапазоне давлений от 20 мТорр до 8 Торр.

Стандартная насосная установка оснащена устойчивым к коррозии турбомолекулярным насосом с производительностью 250 л/сек, сетчатым фильтром и подкачивающим насосом из PFPE с производительностью 0,283 м3/мин. Подача РЧ-сигнала частотой 13,5 МГц обеспечивается блоком питания мощностью 600 Вт и авто-тюнером. Напряжение смещения постоянного тока на подложке находится под постоянным контролем и может достигать -500 В, что особенно важно при анизотропном травлении. Автоматизированное компьютерное управление в соответствии с заданной программой обеспечивает максимальную гибкость для пользователя при сохранении высокой воспроизводимости процесса. Система позволяет выполнять автоматическую загрузку/разгрузку как отдельных пластин, так и кассет с набором заготовок. 

Характеристики:

• 13-дюймовая алюминиевая камера с твердым анодированным покрытием;
• Газораспределительная головка душевого типа;
• Размер подложек до 200 мм;
• Контроллеры массового расхода с газовыми линиями из нержавеющей стали;
• Смещение постоянного тока: собственное смещение до – 500 В, внешнее смещение до -1000 В;
• Автоматическое управление давлением;
• РЧ источник питания мощностью 600 Вт и автоматической настройкой;
• Пластинодержатель с водяным охлаждением либо подогревом (400°C);
• Устойчивый к коррозии турбомолекулярный насос с производительностью 250 л/сек и подходящим подкачивающим насосом;
• Полная автоматизация процесса под управлением ПК в соответствии с заданной программой;
• Интерфейс пользователя, разработанный в среде LabVIEW;
• Все необходимые защитные блокировки.

Опции:

• Источник с индуктивно-связанной плазмой для получения плазмы высокой плотности;
• Плазменный источник для изотропного травления;
• Теплообменник для охлаждения обратной стороны с механическим зажимом для глубокого реактивного ионного травления;
• Дополнительные контроллеры массового расхода;
• Автоматическая загрузка/выгрузка;
• Охлаждение подложки до -20°C и нагрев до 200°C;
• Спектроскопический детектор окончания рабочего процесса;
• Электростатическое зажимное устройство;
• 12-дюймовая камера для подложек.

Область применения

• Сложные полупроводники;
• Датчики на основе арсенид галлия;
• Фотоника;
• Изготовление микроэлектромеханических систем;
• Травление глубоких канавок в кремнии;
• Плазменное разделение пластин на кристаллы при упаковке;
• Травление переходных отверстий в кремнии;
• Высокоточные датчики движения;
• Травление в наномасштабе и микрогидродинамика.