Описание:

Многофункциональные установки напыления тонких пленок HHV Auto500  – это надежность и качество по доступной цене. HHV Auto500 является универсальной установкой напыления с фронтальной загрузкой для исследований и подготовки к серийному производству. Внутри камеры можно размещать подложки большого диаметра, она допускает совместное использование метода резистивного испарения, электронно-лучевого напыления и распыления без нарушения вакуума. Дополнительные возможности насосной системы позволяют использовать диффузионный насос, стандартный или безмасляный на магнитном подвесе, турбомолекулярные насосы, а также крионасос.

 

 

Установка Auto500 для резистивного и электронно-лучевого напыления

Установка напыления тонких пленок Auto500 - это эффективное, но доступное по цене средство реализации методов термического осаждения.

 

Технологическое оборудование

• Прямоугольные камеры из нержавеющей стали размером 500 мм х 400 мм с возможностью водяного охлаждения
• Камеры со стеклянным вакуумным колпаком или стеклянным цилиндром
• Один или несколько резистивных источников, резистивный источник на четырехпозиционном поворотном столике
• Многотигельный электронно-лучевой источник мощностью 3 кВт или 6 кВт
• Неподвижный и поворотный подложкодержатели
• Устройства высокотемпературного нагрева подложки
• Заслонки источника и подложки
• Очистка в тлеющем разряде
• Устройства измерения и контроля толщины пленки
• Возможности применения загрузочного шлюза

Камера FL400 изнутри с электронно-лучевым источником EB3, двумя резистивными источниками и кварцевым ламповым нагревателем подложки.

Компактный электронно-лучевой источник EB3 мощностью 3 кВт с поворотным столиком и возможностью футеровки.

 

 

Установка Auto500 распыления на постоянном и ВЧ токе

Установка Auto500 после настройки представляет собой эффективную и универсальную установку распыления для проведения исследований. Установки могут быть оснащены максимум тремя источниками распыления, а универсальная система коммутации позволяет пользователям выбирать источник питания: постоянный ток или ток высокой частоты. Возможность дополнительно использовать установки технологического газа и подложкодержатели позволяет обеспечить максимальную гибкость технологического процесса.

 

На выбор предлагаются:

• До трех магнетронных источников для вертикального напыления
• Источники на шарнирах для фокусированного распыления
• Возможности последовательного или совместного распыления
• Возможности использования источников питания постоянного тока или тока высокой частоты
• Реактивное распыление
• Нагреваемые подложкодержатели
• Подложкодержатели с электрическим смещением
• Возможности применения загрузочного шлюза

Камеры FL500 с тремя источниками распыления диаметром 3” с наклонными головками.

 

 

Установка напыления тонких пленок Auto500 многоцелевого назначения

Универсальную установку напыления тонких пленок Auto500 можно настроить для использования многочисленных методов. Просторная камера FL500 может вмещать компактный электронно-лучевой источник EB3 мощностью 3 кВт с распылительными и резистивными источниками, обеспечивая исследователей средствами формирования многослойных пленок с использованием не нарушающих вакуум методов. В установке может также размещаться система очистки в тлеющем разряде и нагрева подложки, а также устройство измерения и контроля толщины пленки.

Камера FL500 изнутри с электронно-лучевым источником EB3 и двумя источниками магнетронного распыления диаметром 75мм.

 

 

Функциональные характеристики установки Auto500

Вакуумные установки:

• Диффузионный насос производительностью 600 л/с
• Турбомолекулярный насос производительностью 500 л/с
• Безмасляный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе производительностью 450 л/с
• Крионасос производительностью 1500 л/с
• Пластинчато-роторный насос с масляным уплотнением производительностью 14,3 м3/ч и ловушка, охлаждаемая жидким азотом, в стандартной комплектации
• Возможен вариант безмасляного спирального насоса

 

Камеры:

• Прямоугольная камера FL400 с фронтальной загрузкой. Диаметр 400 мм x высота 500 мм со смотровым окном диаметром 100 мм и футеровкой камеры
• Прямоугольная камера FL500 с фронтальной загрузкой. Диаметр 500 мм x высота 500 мм со смотровым окном диаметром 100 мм и футеровкой камеры
• Водоохлаждаемые камеры FL400 или FL500 для использования при высокотемпературном нагреве подложек

Средства управления и обеспечения безопасности:

• Контроллер системы на базе ПЛК с сенсорным дисплеем для управления вакуумной установкой
• Автоматический высоковакуумный клапан служит для защиты насосов и технологического процесса
• Комплексные блокировочные устройства обеспечивают максимально возможную безопасность оператора
• Auto500 имеет маркировку ЕС

Планируемая модернизация:

• Функциональная особенность модульной конструкции Auto500 состоит в том, что конфигурацию этой установки можно изменить или модернизировать при помощи дополнительного оборудования, поскольку со временем требования меняются