Описание

MicroGlider® — это высокоточная мультидатчиковая измерительная система от компании FRT, предназначенная для приложений, где требуется измерение с особо высокой точностью. Двухкоординатный столик на бесконтактном воздушном подшипнике с приводом от линейного электродвигателя гарантирует особо высокую точность перемещения при позиционировании. Благодаря этому MicroGlider® измеряет профиль, топографию, шероховатость и толщину пленки с еще более высокой точностью.
Кроме того, MicroGlider® оснащен ПЗС-камерой для облегчения позиционирования образца и может автоматически выполнять предварительно заданные измерения.
 

 

Особенности измерительной системы:

• более высокая точность измерения
• измерение неразрушающим способом
• высокая разрешающая способность измерительной системы
• высокая повторяемость и воспроизводимость результатов измерений
• автоматические циклы измерений
• позиционирование образца с использованием ПЗС-камеры
• возможность измерения несколькими датчиками

 

Технические средства:

• промышленный компьютер, монитор, электроника и руководство
• хроматический датчик или зонд AFM
• двухкоординатный столик на воздушном подшипнике
• измерение перемещения с высоким разрешением
• прочное устойчивое гранитное основание

 

Программное обеспечение:

ПО FRT Acquire Measuring

• набор макросов для типичных приложений измерительного прибора
• автоматизация комплексных измерений
• удобный и понятный пользователю интерфейс

ПО FRT Mark III для анализа

• полный анализ полученных данных (2D и 3D)
• протоколирование этапов анализа и результатов
• настраиваемые отчеты
• экспорт и импорт данных в различных форматах
• язык: английский или немецкий
• бесплатные обновления

 

Технические характеристики

 

	MicroGlider®100	MicroGlider®350	MicroGlider®600
Конструкция системы	воздушный подшипник с линейным электроприводом с катушкой	воздушный подшипник с линейными электродвигателями	воздушный подшипник с линейными электродвигателями
Диапазон сканирования*	100 мм х 100 мм	350 мм х 350 мм	600 мм х 600 мм
Макс. скорость сканирования	100 мм/с	100 мм/с	100 мм/с
Макс. высота образца	36 мм	120 мм	120 мм
Макс. масса образца	5 кг	35 кг	35 кг